空间辐射环境模拟设备真空系统

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-11-30 1:43:39 * 浏览: 22

真空单元如图10-65所示。主泵为400L / s溅射离子泵，辅助泵为钛丝和钛球升华泵。粗抽使用三个安装在小车上的分子筛吸附泵，并且易于移动。抽气曲线如图10-66所示。