测量钛钼丝和锆钛丝蒸发参数的方法

附着系数是通过在钛蒸发过程中或蒸发后引入恒定的气体流量Q来测量的（为了降低背景影响，需要引入Q才能使背景压力增加1 mdash，1.5个数量级） ，并测量吸膜附近的压力p，计算在此条件下膜表面的比泵吸速度S与理想比泵吸速度So的比值，即粘附系数a，a = S / So吸附测定容量q（Pa·L / g）。在一定电压下蒸发一定量的钛m [g]后，引入恒定的气流Q，并测量抽气速度与时间之间的关系。 Q ＝ Qt / m由下式求出。 50％的时间。测量使用的测量设备如图16-34所示。 BA裸露压力表（安装在膜表面附近）指示测量盖中的压力p2。被测气体由玻璃膨胀系统通过毛细管填充。方向流通过扩散器减少。恒定的空气流量Q是由前级压力Pi的恒定压力（由热电偶压力计指示）实现的。对H2，N2.C2，He分别校准热电偶，并且还预先校准流量Q。 BA裸规对氢的相对灵敏度为0.491。