真空镀膜：感应加热蒸发源

（1）感应加热蒸发源的工作原理和特性将膜置于坩埚中的坩埚置于螺旋线圈的中心（无接触），并向线圈施加高频电流。该膜在高频电磁场感应下很坚固。涡流使薄膜加热直至蒸发。薄膜的体积越小，所需的频率越高。每块仅重几毫克的材料应使用几兆赫兹的电源频率。取冷却水。为了使膜层均匀，可以单独调节每个坩埚线圈的功率。该蒸发源的特点是：①蒸发速率大。当铝沉积厚度为40nm时，卷绕速度可以达到270m / min，约为电阻热源的10倍。 ②蒸发源温度均匀稳定，不易产生铝滴飞溅现象。它可以避免由于铝液滴在薄膜上沉积而导致的针孔现象。因此，相应地提高了通过感应加热法生产的金银线的产率。 ③蒸发源一次充电，不需要送丝机构，温度控制容易，操作简单。 ④对膜纯度的要求低。通常，真空感应加热使用99.9％的纯铝，而电阻加热则需要99.99％的纯铝。因此生产成本也可以降低。 （2）感应加热蒸发源的结构用于ULVAC的EW系列辊式高真空镀膜机中使用的感应加热蒸发源的结构，如图10-8所示。电源是一个高频发电机，电压为450V，频率为9727Hz。该系列有四种坩埚，其标准尺寸如表10-1所示。内径坩埚填充有1000g，该坩埚的平均使用寿命为18至20倍。为了延长坩埚的寿命，在重新填充铝材料时应添加4％的钛，以后可以适当减少。目的是在坩埚的内表面上形成一层TiC，以防止铝与坩埚直接反应。除上述各种蒸发方法外，其他蒸发方法及其实用性见表10-2。