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金门罗茨真空泵抽速和压缩比

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-03 1:03:24 * 浏览: 18
气体循环冷却罗茨泵和前级泵的抽吸速度和压缩比抽吸速度和压缩比是罗茨泵的典型性能数据。理论泵速Sth = S0是没有背压的泵排量的体积流量。非排气(入口法兰关闭)操作期间的压缩比K0取决于出口压力p2。抽速范围从200m3mid-1(h-1)到几千m3middot(h-1)。典型的K0值在10到75之间。压缩率受到两种方式的不利影响:■气体流回到活塞与外壳之间的间隙,出口压力为10-2至1 hPa,分子流密封间隙占主导地位,由于其低电导率导致少量回流。然而,通过吸收被吸回的气体量,与被抽吸的气体量相比,这相对较高,从而降低了压缩比。在1至10 hPa的范围内,K0为z *高,因为由于泵密封间隙的入口压力低,分子流仍占主导地位,因此回流很低。由于通过吸附进行的气体传输不是压力的函数,因此它远不如通过泵速传输的压力成比例的气体流量重要。当压力超过10hPa时,在间隙中发生层流并且间隙电导率显着增加,这导致压缩比降低。这种效果在风冷罗茨泵中尤为明显,后者的压缩比仅为K0 =10。间隙宽度对压缩比有很大影响。但是,由于活塞和壳体的热膨胀不同,它们必须不小于一定的z *值,以避免转子和定子接触。