真空泵密封气

泵送腐蚀性过程气体时，存在气体可能损坏泵组件的风险。为了避免这种危险，必须使用连续的惰性气体流来保护敏感组件。因此，泵体配备有特殊的进气系统，通过该进气系统，气体在指定位置流入泵系统。在涡轮分子泵中，主要是轴承和发动机舱需要保护。吸入发动机舱中的密封气体可防止腐蚀性气体与轴承中的润滑剂或腐蚀敏感组件发生化学反应，并防止灰尘和颗粒进入润滑剂储罐并与润滑剂混合。使用密封气体可保护电动机，并防止颗粒进入并导致轴与应急轴承接触。还建议免润滑涡轮分子泵除轴承密封气体外，还应使用具有处理能力的干前级泵和吹扫气注入处理泵。各种抽水阶段。与过程相关的吹扫气体流量是使用校准喷嘴上游的压力调节器或流量调节器（质量流量控制器或MFC）进行调节的，并由压力传感器和开关进行监控。