高真空下抽气时间的计算

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-04 19:26:29 * 浏览: 73

在高真空领域，当可以忽略真空设备中材料的除气时，真空室抽气时间的计算时间与低真空抽气ra的计算时间相同。由于高真空泵的高抽速，因此该时间段非常短。实际上，高真空抽空时间主要取决于材料的放气。在泵送的最初几十个小时中，原料气体的输出速率是可变的，因此真空室的总气体输出随泵送时间而衰减。达到一定压力所需的时间的计算取决于总气体输出量与泵（或单元）的有效抽速的比值。通常，可以通过检查材料排气曲线和绘制方法来计算。例如，要计算达到压力p所需的泵送时间：