磁盘空间不足。 磁盘空间不足。 离子束蚀刻设备的主要性能
当前位置:首页> 新闻中心

新闻中心

离子束蚀刻设备的主要性能

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-03-06 19:34:39 * 浏览: 0
离子束蚀刻设备的主要特性通常包括:机器特性,离子源特性,真空系统性能,工件台性能。控制系统的特性等。兰州物理研究所生产的LSK,DSI和RIBE离子束刻蚀设备的主要技术性能如表10-36所示。