离子束蚀刻设备的主要性能

离子束蚀刻设备的主要特性通常包括：机器特性，离子源特性，真空系统性能，工件台性能。控制系统的特性等。兰州物理研究所生产的LSK，DSI和RIBE离子束刻蚀设备的主要技术性能如表10-36所示。