真空计：波纹管计概述

该压力表的波纹管的一端密封，另一端连接至被测系统。当管道中的压力发生变化时，波纹管内部和外部之间的压力差也会发生变化，从而导致波纹管膨胀和收缩。量规的灵敏度与波纹管的壁厚有关。形状相关。波纹管材料的弹性系数随温度的变化是该规则的主要误差来源。图11-14是使用光学方法检测波纹管变形的波纹管量规，其测量下限可以达到10 ^ -2Pa。图11-15是由玻璃制成的风箱规。当波纹管膨胀和收缩时，毛细管中汞的位置也会相应变化。这种结构可以提高仪器的灵敏度。当压力从较高的真空度变为大气压时，汞的位移可以达到600mm。该规则的缺点是它对温度变化过于敏感，需要恒温。