隔膜真空泵设计/工作原理

隔膜真空泵是干式容积泵。由曲轴驱动的连杆（4）使张紧的膜片（1）在顶盖（2）和壳体（3）之间移动。头罩和隔膜之间的空间形成了吸入室（5）。隔膜泵需要有入口阀和出口阀（6）才能达到目标气体排量。由弹性体材料制成的压力控制截止阀用作该阀。由于吸入腔与驱动器通过每个膜片紧密密封，因此泵介质不会被油污染，腐蚀性介质也不会腐蚀机械结构。出口阀和吸入腔之间的固定空间产生有限的压缩比，这意味着只有一个吸入级才能达到约70 hPa的极限压力。串联连接的多个抽吸级可实现0.5 hPa的极限压力。无法获得较低的压力，因为在这种情况下，不再有足够的力来打开进气阀。隔膜泵的原理特别适用于大约10 m3中点h-1的低抽速。