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隔膜真空泵设计/工作原理

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-04-24 0:58:47 * 浏览: 12
隔膜真空泵是干式容积泵。由曲轴驱动的连杆(4)使张紧的膜片(1)在顶盖(2)和壳体(3)之间移动。头罩和隔膜之间的空间形成了吸入室(5)。隔膜泵需要有入口阀和出口阀(6)才能达到目标气体排量。由弹性体材料制成的压力控制截止阀用作该阀。由于吸入腔与驱动器通过每个膜片紧密密封,因此泵介质不会被油污染,腐蚀性介质也不会腐蚀机械结构。出口阀和吸入腔之间的固定空间产生有限的压缩比,这意味着只有一个吸入级才能达到约70 hPa的极限压力。串联连接的多个抽吸级可实现0.5 hPa的极限压力。无法获得较低的压力,因为在这种情况下,不再有足够的力来打开进气阀。隔膜泵的原理特别适用于大约10 m3中点h-1的低抽速。