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离子束蚀刻设备的离子源电源

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-05-07 12:42:16 * 浏览: 11
离子源电源由五个部分组成:阴极,阳极,筛栅,加速极和中和器电源。其技术指标如表10-37所示。离子源电源的特点是:①五个电源在主电路上采用了变压器一次可控硅调节的同种调压方案。阴极和中和器电源直接从变压器次级提供交流电压:阳极,屏蔽栅网和加速极电源为桥式整流pi或由RC或LC组成的pi,提供直流电压。由于电源的各个部分的设计,特别是变压器初级端的SCR的选择以及主电路各组成部分的安全系数的选择比平常大得多,因此经常发生火灾在系统中进行溅射时,电源可以在过电流浪涌和瞬态高压短路的恶劣工作条件下安全稳定地工作。 ②五个电源中的每一个都有自己的短路,过电流和过载保护装置。保护电路为延迟型,因此在清洁系统后可以快速进入稳定运行状态。 ③使用多圈精密电位计,可将五个电源的输出电压从零到z *的最大值连续调节,阴极电源和中和器的电源也装有电子束电流稳定装置,并且通过多圈精密电位器连续调节设定点进行设定。例如,五种电源的控制部分都由相同的,运动的,安装在同一块印版上组成。五个电源从上到下依次安装在同一立式机柜中。每个机箱都有可伸缩的馈线连接,因此每个电源都可以从机箱的滑轨上单独拉出,以便可以将其带电放在机架上进行测试和检查。离子源电源在变压器初级中使用晶闸管,并在四个硅整流二极管中形成全桥电路。晶闸管的导通角由触发电路传递的宽脉冲控制,该脉冲的宽度由采样信号和设定电压控制,从而实现了变压器的一次交流电压调节。晶闸管控制极的触发电路是采用锯齿相移的触发电路的一种形式。它使用同步变压器和二极管对交流电进行全波转换,对电容器充电,并在电容器上形成一个固定振幅(频率为100 Hz)的锯齿波,该锯齿波被输入到BG307同相中输入端子,与BG307输入相反。比较输入端的直流控制电压(从主电路的输出采样并由SG23放大),以便运算放大器BG307的输出产生一个宽度受该直流电压控制的正脉冲,进行光电隔离并通过通过末级直流放大器放大后,加到晶闸管的控制极上以控制其导通角,从而进行交流电压调节。直流控制电压是采样到直流放大器5G23的同相(加速极是反相端子)的主电路的输出电压。将输入端子与稳压器VR上的设置电压进行比较,以更改5G23输出电压的大小,以调整并稳定主电路输出电压的变化。
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