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真空镀膜设备通用技术要求

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-05-15 0:45:32 * 浏览: 0
本标准适用于压力在10-4 Pamdash,10-3Pa范围内的蒸发型,溅射型,离子镀型的真空镀膜设备(以下简称设备)。 (1)设备主要技术参数设备主要技术参数如表10-27所示。 (2)极限压力的测定①试验条件:a。涂层室是空的(也就是说,没有放置被电镀的部件),b。真空测量仪应安装在涂装室的墙壁上或涂装室附近的管道上; c。所使用的真空计应为设备本身的匹配装置,并应在有效期内d。在泵送过程中,允许使用配备有设备本身的加热和轰击设备对涂层室进行除气,例如。对于带有中间架子,上层卷绕室和涂布室的卷绕式涂布设备,应在同时抽空两个室时测试涂布室的压力。 ②测试方法:在连续抽空涂料室的24小时内,确定其压力的z *低值,并将其设置为设备的极限压力。当在0.5h内压力变化值不超过5%时,将测量表读数z * high值作为极限压力值,并且涂层室内的每个旋转密封部件都在运动。 (3)抽水时间的测量①试验条件:a,b,c,d为相同极限压力的试验条件。 ②测试方法:在连续抽气条件下,在达到涂层室的极限压力后,打开涂层室15分钟,然后关闭涂层室,并再次抽至达到表10-31规定的压力值所需的时间。设置设备的抽气时间。 (4)升压率的测量①试验条件:与极限压力测量相同。 ②测试方法:将设备连续抽水24h,使其在涂层室内达到稳定的z *低压后,关闭与涂层室相连的真空阀。当涂布室内的压力升至P1(1Pa)时,开始计时。 1h后记下p2,然后按如下方式计算加速率: