涡轮分子泵的结构原理

涡轮分子泵的结构示意图和涡轮叶片的展开图如图3-72和图3-73所示。涡轮分子泵的转子和定子配备有多层涡轮叶片。转子和定子叶片的倾斜表面是相对的，并且每个转子在两个定子之间。当分子泵工作时，转子高速旋转，迫使气体分子通过叶片从泵的土壤部分流到出口，从而产生泵送效果。废气被前级泵通过排气管抽走。