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涡轮金门分子泵的结构原理

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-06-02 0:42:00 * 浏览: 7
涡轮金门分子泵的结构示意图和涡轮叶片的展开图如图3-72和图3-73所示。涡轮金门分子泵的转子和定子配备有多层涡轮叶片。转子和定子叶片的倾斜表面是相对的,并且每个转子在两个定子之间。当金门分子泵工作时,转子高速旋转,迫使气体分子通过叶片从泵的土壤部分流到出口,从而产生泵送效果。废气被前级泵通过排气管抽走。