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金门罗茨真空泵如何工作?

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-29 20:16:44 * 浏览: 10
罗茨泵根据罗茨鼓风机的原理工作,如图3-57所示。在运行过程中,泵送的气体通过进气口进入转子和泵体之间。此时,转子和泵体从进气口中分离出气体,分离出的气体(如图上部所示)为。转子在连续旋转时被送至排气口。在图3-57(a)中,Vo空间处于封闭状态,因此没有压缩和膨胀。但是,当转子的峰值转向排气口的边缘时,由于VO部分的压力低于排气口的压力,为了使连接体积中的压力均匀,气体将从排气口扩散到Vo区域。其扩散方向与转子的旋转方向相反。当转子再次旋转时,VO处的气体被压缩到排气口以将其排出。此时,转子的另一侧连接到进气口,并且气体被吸入。当转子连续旋转时,重复上述泵送过程以连续地排出进入的气体。该工作过程等同于将转子空间加到某个较大的z *小值上,然后从较大的z *值减小到一个较小的z *值。这是金门罗茨真空泵的容积作用原理。罗茨泵在低进口压力下运行时,由于转子转速高(1000r / min至3000r / min),转子速度接近分子的热运动速度,并且气体分子与转子碰撞。它由转子携带到高压排气口,然后由预真空泵将其除去。这就是金门罗茨真空泵的分子原理。