ZLS-24氮气质谱仪检漏仪

我国在1960年代初期开始开发和生产氦质谱检漏仪。从那时起，仪器的开发和生产得到了飞速的发展。现已正式投产的家用仪器有十多种，现在一些仪器的性能和指标描述如下：ZLS-24氮质谱仪检漏仪。这是180的单个级别。磁偏转仪可以检测到从10Pa.L / s到10 ^ -10Pa.L / s的泄漏率范围。泄漏率可以直接显示在主机上，显示范围为10 ^ -4Pa.L / smdash，10 ^ 9Pa。 L / s，可以在没有液氮的条件下工作。仪器中安装了粗泵和相应的电磁阀，对于小容器的泄漏检测不需要辅助容器抽吸装置。该仪器配有自动快速检漏附件，可以自动检测各种小密封元件的小泄漏。 （1）技术性能仪器灵敏度：不使用液氮时，抽气阀完全打开时，其性能优于10 ^ -9Pa.L / s。当使用液氮且泵阀部分关闭时，其为10 ^ -10Pa.L /。如此清除时间不超过3s，质谱仪室允许z *的高工作压力为10 ^ -2Pa。配备q山检验配件，当使用小型密封装置背压法进行检漏时，z *检出泄漏率小：10-7Pa.L / s，检漏周期：2smdash，30s，带有“ ld”，吸枪，使用时采用氦气抽气法对密封装置进行检漏，最小检漏率为10 ^ -7Pa.L / s。 （2）仪器的主要部件仪器由以下两个主要部分组成：真空系统部分。主系统由机械泵，扩散泵，冷阱，质谱仪室，各种真空阀，冷量计和连接管组成，辅助系统由进气管，粗泵，电磁阀，电阻表，低真空继电器和连接管。电气零件。用于主系统所需的电气测量和控制电路，以及辅助系统的手动和自动控制电路。