扩散泵极限压力的确定

扩散泵的抽速只能在高真空范围内测量。因此，制造商的样品可能列出也可能未列出最终压力值。如果制造商指定极限压力，则必须给出操作条件和获得测量结果的方法。为了使每个工厂的测量结果具有可比性，指定了统一的方法。有关详细信息，请参见本标准的附录B。 3.附录A气体流量和抽气率的测试和计算[标准附录]（1）滴管的使用按照本标准（1）中的说明对设备进行测试和计算。泵在指定条件下工作时，给定气体的抽气速率S是通过将测试罩的气体流量Q除以测试罩指定位置的平衡压力p得出的。商决定4。附录B.确定极限压力（标准附录）如果作为泵的独立测试项目进行极限压力测试，则应执行以下规定：①扩散泵开始自热，连续工作不超过8h，读取极限压力值。在读取仪表之前，应根据真空计的操作要求将真空计脱气8分钟。脱气1小时后，将记录读数，并且该规定将继续起作用，每10分钟记录一次。 z *之后1h内的时间平均值作为泵的极限压力。扩散喷射泵（油增压泵）从加热开始，连续工作5小时，然后即可读取极限压力值。 ②用于测量极限压力的真空计及其调节应符合本标准（2）中③的要求，但不需设冷阱。