检漏仪在辅助系统中的位置

如图13-41所示，有两种方法将检漏仪连接到辅助系统，并且两种方法的特性不同。文献[430]认为，当对没有大泄漏的干净容器进行泄漏检测时，应将泄漏检测器连接到前级（低真空）侧，相反，对于受污染的容器，应将泄漏检测器置于在有泄漏的情况下，检漏仪应在高真空侧。数据[416]指出，泄漏检测器的连接位置应使仪器与试件之间的电导率z *大，从而使进入泄漏检测器的氦气浓度更高。当检漏仪连接到前级时，前泵的不稳定抽速将增加仪器的噪音并降低检漏的灵敏度。因此，最好在前级添加一个调节瓶，或串联一个扩散泵。设计辅助系统时，应在高真空侧和低真空侧都将法兰连接到检漏仪。