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多级罗茨泵应用

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-09-14 12:35:06 * 浏览: 2
在ACP系列中,干式和风冷式多级罗茨泵通常因其相关的性能参数而直接用于替代可用抽速范围内的油润滑旋转叶片真空泵。多级罗茨泵的优点包括:■■气体驱替区域中没有润滑剂■■泵送的油或离子不会污染介质■■没有工作流体处理问题■恒定的真空参数具有长期稳定性■ ■易损件少,可靠性高。 ■■每个电源连接到主电源频率和通用电源时,它具有一相或三相逆变器恒定工作参数。 ■■风冷,无安装成本和水冷运行成本■■连续运行以提高入口压力■■长维护间隔可降低运行成本■■带变频器的远程控制选件■■由于转速可调,降低了噪音水平,能量利用和功率输入非常适合此应用■■z *泄漏率小■■涡轮金门分子泵和罗茨泵是理想的前级泵■■已通过UL / CSA和SEMIS2蒸汽要求认证。如果不采取其他措施,则相对较低。在工作温度下,使用无油泵时,泵中有凝露的风险。与旋片真空泵相似,多级罗茨泵配备了气镇阀,以提高泵的水蒸气耐受性和水蒸气能力。泵中冷凝物的形成会增加极限压力,从而导致腐蚀,如果z *不好,则会导致泵发生故障。在没有气镇的情况下,ACP泵可以输送水分含量最高为5%的介质。使用标准的泵气镇流器,水蒸气耐受力为10hPa,水蒸气容量为100gmiddot,h-1。在特殊的泵版本(CV,可冷凝蒸汽)中,以增加气镇的产量,水蒸气耐受性可以达到100hPa左右,水蒸气容量为700至1,000gmiddot,h-1,具体取决于环境温度。至于旋片式真空泵:在排空蒸汽之前,必须先用气镇预热泵体至少半小时。较高温度的泵体可减少冷凝。减少冷凝水的其他方法包括获得尽可能低的出口压力和分别排出冷凝水。必须使用垂直排气管以防止出口处的背压。如果有抽气系统,则将插座连接到它。如果灰尘和颗粒不能控制大颗粒的进入,则在z *不好的情况下,ACP系列多级罗茨泵可能会被阻塞而完全失效。因此,在含尘工艺或玻璃制造中,在进气侧安装一个过滤器以防止损坏。腐蚀性气体ACP系列泵不适用于抽出大量腐蚀性气体。因此,多级罗茨泵可用于半导体,太阳能和涂料行业的腐蚀性气体工艺(请参见4.6节)。但是,ACP系列泵至少可用于处理少量腐蚀性气体。在这种情况下,使用具有惰性气体净化功能的版本,其中使用惰性气体幕帘来保护轴承,并通过在泵级中引入惰性气体来稀释工艺气体。泄漏率及其高气密性可确保长期使用多级罗茨泵和使用昂贵的气体(4He,3He,同位素标记的气体)。气体回路的最佳解决方案。轻型气体和高真空多级罗茨泵具有出口阀,可防止水分和氧气扩散回吸入腔,这会在腐蚀性气体应用中引起泵中的化学反应。如果需要产生真空以防止轻气聚集和回流扩散,则在应用中必须定期打开阀门(例如通过气镇)。即使在排气口使用微真空或气镇足以代替甚至连续的氦气通过量(例如在蒸发器低温恒温器中),其性能数据也几乎与氮气或空气相同。在禁止使用载气的应用中(例如在闭环应用中),泵出口必须有真空。