真空系统z *小可以检查压力

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-11-11 19:45:23 * 浏览: 37

可检测到的z *小压力反映了质谱仪探头的分压灵敏度和由测量仪器测得的离子电流信号的综合指数。给定气体的z *小可检测压力是要检测等于噪声两倍（即信噪比为2）的离子电流输出信号。