清洁超高真空抽气系统

根据分子束外延设备的真空要求，需要10-8Pa的超高真空环境。图10-36中设备的真空系统组成如下：1.前级真空排气系统前级真空排气系统使用两个分子筛吸附泵对设备进行排气。废气从大气中泵送到离子泵的启动处（约10-1Pa），也用于高能电子设备。一个预真空排气系统，用于排出衍射仪的50,000伏电子枪。前级真空排气系统由两个内部冷却的吸附泵组成，每个泵均配备5kg分子筛（每个半筛分别为13x和5A），一个高压表，一个排气阀和三个可烘烤的金属超高真空阀（其中一个是主阀）和真空管道。分子筛对气体的吸附属于物理吸附。这个过程是可逆的。在低温下吸入大量气体。当温度升高时，部分或全部温度将被释放。此时，泵中的压力再次升高，甚至达到高压。为了安全起见，在泵的吸入口管道上设置了一个安全阀。当泵中的压力大于大气压时，它将自动打开并放气。当然，也可以使用简单的锥形橡胶塞来代替安全阀。但是，在设计塞子的位置时，应特别注意不要使液氮冻结并硬化橡胶塞，从而导致漏气。排气方法采用两级抽气，即首先使用分子筛泵从大气中排气约3分钟，然后在5分钟后，使用另一个分子筛泵继续排气。 2.清洁超高真空主排气系统超高真空排气系统使用三极溅射离子泵作为辅助泵，并使用钛热升华泵作为主泵，以获得10-8Pa的超高真空。