真空装置自动控制-真空计
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-11-15 15:08:56 * 浏览: 47
[Convo真空网络]在真空设备的自动控制中，经常进行真空测量。由于各种真空设备和不同的工作压力范围，将在各个真空区域遇到真空测量平台。常用的真空计包括电阻真空计，热电偶真空计，电容膜真空计，电离真空计，超高真空计等。为了扩展真空计的功能，真空仪器制造商还生产功能模块板，包括遥控遥测，模拟输出，RS-232C和其他通信接口，压力调节等，供用户选择。因此，设备齐全的真空计不仅可以执行真空测量，数字显示，自动量程切换，自动纠错，还可以在压力设定点发送控制信号进行压力控制，并根据设定的压力值自动进行压力测量。调整后，还可以打印并记录测量值，并与上位机通讯，甚至可以进行远距离真空测量和控制。 （1）压力控制器在工业生产和科学实验中，通常希望将真空设备的真空室中的真空保持在真空过程所需的给定值。通常可以通过手动调节真空调节阀来实现该要求，如果需要自动进行压力调节，则可以通过压力控制器来实现。压力控制器通常由真空测量单元（真空计），压力自动调节回路和真空调节阀组成。它是一种集成了真空测量和压力调节功能的自动控制仪器。家用压力控制仪表主要包括HY，ZDC，SYK，DL，ZZK等产品。表征压力控制器的主要技术指标是压力控制范围，控制精度，流量控制范围和反应时间。这取决于其配备的真空计，控制电路和真空调节器的性能。压力控制器广泛用于离子注入，离子束蚀刻，真空镀膜，激光技术和半导体材料。环境条件与相同类型的真空计相似。 （2）压力控制仪的型号及基本参数1，型号：模型表示方法尚未统一。有些用汉语拼音字母表示，有些用英文缩写表示。 2个基本参数
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