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真空装置:重要部件的真空问题

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-11-18 18:30:27 * 浏览: 12
在MBE中,应充分考虑200mm超高真空氟橡胶挡板阀,分子束源系统和样品传输结构系统等主要组件的清洁真空问题。 1.分子束源系统分子束源系统是MBE的核心组件。该零件有六个分子束炉。炉子是用石墨制成的,并用金属丝加热,使箔绝缘。炉子之间有一个水冷分离器。它是在高温,结构复杂和多种材料下。它是主要的气体来源,直接影响真空真空室。为了确保该部分保持清洁并将真空室保持在超高真空条件下,将整个束源放置在液氮防护罩中,以减少该气体源对真空室的污染。分子束源系统配有水冷升华泵(钛钼合金丝升华器),抽速约为200 L / s,以便在束流源部分的气体量为大。 2.样品转移结构系统配备了样品转移结构,以缩短工作周期并快速更换样品。同时,在更换样品的过程中,真空室的洁净室不会损坏其超高真空状态,也不会污染真空室。系统。图10-37是样品递送结构系统的示意图。样品传输系统通过直通阀直接连接到真空室的一侧。在更换样品的情况下,将样品(清洗后的样品)放置在传输杆的样品架上,并将传输杆通过磁力驱动器通过直通阀送入真空室,并通过多自由度的样品架,然后生长良好。外延膜被转移出真空室。通过用这种转移来代替样品,大大提高了工作效率。为了获得清洁的真空,该系统设计有单独的清洁真空排气系统,该系统由120L / s的三极溅射离子泵和两个分别包含1kg分子筛(13X和5A)的吸附泵组成。组成。一般在将替换的样品装入系统后,在30分钟后将其从大气中排放到10-4Pa,然后打开直通阀以完成大约10分钟的样品交换。此时,真空室的真空度可保持在10-6mdash,在7Pa内为10-。 3. 200mm超高真空氟橡胶挡板阀在升华泵和泵之间装有氟橡胶挡板阀。该阀采用向下压阀板的结构,关闭时,大气压力较紧,使用方便,离子泵不暴露于大气,启动容易。