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电子工艺对真空环境的要求

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-09 8:03:33 * 浏览: 0
  根据美国洁净室标准,空气洁净度的分级是依据每0.028m^3中的尘埃粒数,那么10000级洁净室每0.028m^3空气中含有的0. 5um或更大的尘埃粒数少于10000颗。采用绝对过滤层流技术措施和室内套室结构,每0.028m^3尘粒数可少于100颗。
  
  (1)电子组装件所需的洁净室环境
  
  电子组装件所需的洁净室环境通用z*低标准见表15-7。
  
  洁净室z*低标准,也应包括温湿度控制。保持工作区温度在20℃~30℃之间,相对湿度为45%—55%时,就可以避免类似的汗水和静电污染。
  
  (2)洁净室使用要求
  
  洁净室使用要求见表15-8
  
  4.表面净化方法

  
  评价清洁表面的方法见表15-9.