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极高真空装置真空系统的结构及特点

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-12 8:12:54 * 浏览: 0
       用液氮冷冻钛升华阱的方法可获得10^-lIPa的压力,这种极高真空装置的系统刍构示意图,如图16-57所示。该系统由主薯液器、极高真空室、加热装置、冷冻装置及抽气设备等组成。主容器包括内壳和外壳两部分,均由不锈钢制成。外壳尺寸为+900mm×1600mm,内壳尺寸为+600mm×1000mm。  
  
  内外壳之间的空间称为“夹层”,内装管状加热器和液氮冷却的紫铜盘管。极高真空室由不锈钢制成,尺寸为+400mm×500mm,其结构为双壁式的,用以贮存液氮。在极高真空室的内部和外部,各装有一个钛钼合金丝做的钛升华阱和泵。出口处装有一个百叶窗式的挡板。测量用裸调制BA规和裸弯注规。
  
  加热装置包括管状加热器和空气加热器两部贫。前者用来加热外壳、内壳和极高真空室;后者用来烘烤主扩散泵上面的液氮冷阱。冷冻装置由氟里昂制冷系统和开式液氮供给系统组成。用以冷冻主扩散泵上面的挡板及端法兰的橡胶密封圈和供给冷阱、内壳和极高真空室液氮。
  
  抽气设备由三个相互独立的分系统组成,即“夹层”抽气系统、“隧道”抽气系统和“主”抽气系统。“夹层”抽气系统是真空保护系统,工作压力为10^-3Pa~10_5Pa,其作用是减小漏气和漏热。“隧道”系统是测量引线的保护真空通道,该系统内的压力为10^-4Pa—l0^-5Pa。主抽气系统同主容器和极高真空室相连,由机械泵、KY-11和KY-13两级扩散泵、人字形氟里昂挡板、液氮冷阱、两级百叶窗挡板、冷冻钛升华阱及钛升华泵等构成。